Òptica del sistema òptic d'escaneig dinàmic: 1 lent d'enfocament petit, 1-2 lents d'enfocament, mirall Galvo. Tota la lent òptica forma una funció d'expansió del feix, enfocament i desviació del feix i escaneig.
La part expansiva és una lent negativa, és a dir, una petita lent d'enfocament, que realitza l'expansió del feix i el zoom en moviment, la lent d'enfocament està composta per un grup de lents positives. El mirall galvo és un mirall en el sistema galvanòmetre.
(1) Optimització del disseny de les lents: relació òptima entre el diàmetre i el gruix
(2) Llindar d'alt dany de la lent: >30J/cm2 10ns
(3) Revestiment d'absorció ultrabaixa, taxa d'absorció: <20 ppm
(4) Relació entre el gruix del galvanòmetre i el diàmetre: 1:35
(5) Precisió de la superfície de la lent: <= λ/5
Lent postobjectiu
| Pupil·la màxima d'entrada (mm) | Òptica 1 Diàmetre (mm) | Diàmetre de l'òptica 2 (mm) | Diàmetre de l'òptica 3 (mm) | Camp d'escaneig (mm) | Obertura clara de l'escàner (mm) | longitud d'ona |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 µm |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Mirall reflector
| Descripció de la peça | Diàmetre (mm) | Gruix (mm) | Material | Revestiment |
| Reflector de silici | 25.4 | 3 | Silici | HR@10.6um,Àrea d'interès: 45° |
| Reflector de silici | 30 | 4 | Silici | HR@10.6um,Àrea d'interès: 45° |
| Reflector de fibra | 25.4 | 6.35 | sílice fosa | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Reflector de fibra | 30 | 5 | sílice fosa | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Reflector de fibra | 50 | 10 | sílice fosa | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| 532 Reflector | 25.4 | 6 | sílice fosa | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflector | 25.4 | 6.35 | sílice fosa | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflector | 30 | 5 | sílice fosa | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflector | 50 | 10 | sílice fosa | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 Reflector | 25.4 | 6 | sílice fosa | HR a 355nm i 433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflector | 25.4 | 6.35 | sílice fosa | HR a 355nm i 433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflector | 25.4 | 10 | sílice fosa | HR a 355nm i 433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflector | 30 | 5 | sílice fosa | HR a 355nm i 433nm, AOI: 45° |
Mirall Galvo
| Descripció de la peça | Pupil·la màxima d'entrada (mm) | Material | Revestiment | longitud d'ona |
| 55 mm de llargada * 35 mm d'amplada * 3,5 mm de llargada 62 mm de llargada * 43 mm d'amplada * 3,5 mm de llargada | 30 | Silici | MMR@10.6um | 10,6 µm |
| 55 mm de llargada * 35 mm d'amplada * 3,5 mm de llargada 62 mm de llargada * 43 mm d'amplada * 3,5 mm de llargada | 30 | sílice fosa | HR@1030-1090nm | 1030-1090nm |
| 55 mm de llargada * 35 mm d'amplada * 3,5 mm de llargada 62 mm de llargada * 43 mm d'amplada * 3,5 mm de llargada | 30 | sílice fosa | HR@532nm | 532 nm |
| 55 mm de llargada * 35 mm d'amplada * 3,5 mm de llargada 62 mm de llargada * 43 mm d'amplada * 3,5 mm de llargada | 30 | sílice fosa | HR@355nm | 355 nm |
Lent protectora
| Diàmetre (mm) | Gruix (mm) | Material | Revestiment |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
